森家大咖说 | MEMS微机电技术和传感器最强科普

来源：本站发布时间：2022-08-23

森萨塔科技的压力传感器根据压力量程主要分为低压、中压及高压三大类，低压传感器采用MEMS微机电技术，中压传感器采用APT陶瓷电容技术，高压传感器采用MSG玻璃微熔硅应变片技术。

MEMS技术与产品

MEMS技术的主要优势有：

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体积小，重量轻

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量程小，小到几个kpa的压力

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具有很高的精度

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可以做出绝压、表压、压差，选择柔性高

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更适合大批量和高效率的生产

MEMS产品是采用MEMS技术将感压单元和信号处理芯片集成在一个只有几毫米的MEMS芯片上，后期进行必要的封装而来。MEMS产品在我们的生活中随处可见，如电子血压计里面的感压单元，手机麦克风，数码相机的光学防抖所用的陀螺仪等。

MEMS

产品应用

MEMS测量压力的原理

MEMS测量压力的原理是在感压膜片上集成几个MEMS压敏电阻，这几个压敏电阻通过绑线实现与外部的电气连接，并组成一个惠斯通电桥。

惠斯通电桥

当压力作用在感压膜片上后，产生机械应力，使得桥臂电阻发生变化，并通过外部电路将这个微小的电压变化进行放大和处理，最终输出正比于压力的电压或者数字信号。

MEMS工作原理

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